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罕王微电子硅晶圆清洗用超纯水系统

2018-06-20

  项目背景:

  纵观世界,当智能手机、汽车电子、机器人与无人机等产业在一点一点悄然崛起时,MEMS也在走进人们的视野中。MEMS(全称Micro Electromechanical System),中文称微机电系统(以下简称微电子),是一种尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,主要由传感器、动作器(执行器)和微能源三大部分组成。微电子主要分为传感MEMS技术、生物MEMS技术、MEMS光学扫描仪与射频MEMS技术四大类,目前我国在传感MEMS技术这一方面发展较为火热。MEMS作为一项革命性的新技术,其发展关系到我国科技的发展,产业前景不可估量。

  罕王微电子(辽宁)有限公司是一家以MEMS传感器设计及制造生产为核心的高科技中美合资企业。主营业务为MEMS高端传感器及其配套电子产品,莱特莱德为其提供硅晶圆清洗用超纯水系统。

  项目内容:

  提供硅晶圆清洗用超纯水设备,产水符合美国ASTM D5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2,高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。

  


 

  项目介绍:

  项目工艺流程:原水-预处理-双级反渗透-脱气系统-EDI系统-脱气系统-抛光混床-终端颗粒去除器

  MEMS芯片设计和制造中少不了硅晶圆的身影,根据硅晶圆所需清洗用水标准,莱特莱德为其提供美标电子超纯水定制工艺方案,其中,对于TOC(总有机碳)和DO溶解氧(溶解氧)等指标上要求极高。为此工艺中设置了脱气系统,是为脱去可溶性气体特别是二氧化碳(含量过多会导致pH值下降),这样才能保证产出的超纯水的纯度。超纯水系统中TOC(总有机碳)相对含量较高会影响器件性能,为此设置除TOC 装置。最后采用终端过滤系统,避免取用超纯水时受到二次污染,确保水质对颗粒物的高指标要求。

  对于此次项目莱特莱德采用BOT(建设-移交-运营)模式,前期预先缴付押金,后期每月缴付运营费用,为期五年。五年中,一切运营维护都由莱特莱德承担,客户可以在前期较少投资的情况下就使用到美标1.2级超纯水。五年期满后,进行设备转让。BOT模式对于承建企业技术水平要求较高,拥有规模大、工程周期长、经营期限长等特点,这些也决定了工程建设的难度与风险。

 

  工艺优势:

  1、系统所用的超纯水专用膜,采用膜表面高分子嫁接技术,不仅耐酸碱清洗、抗高污染,还可以加快离子迁移速度,使产水TOC在20PPB以下;

  2、系统稳定自动化程度高,产水水质稳定。采用PLC智能化程序,用户能灵活方便地进行操作;

  3、各项指标监测严格,国内只有极少数公司可达到美标超纯水出水指标;

  罕王微电子项目超纯水系统整体

  随着人们生活应用的不断丰富,我国MEMS市场也在逐渐扩大,与此同时我国微电子行业面临着技术上的挑战。莱特莱德不仅在技术上坚持的不断完善与创新,在后期维护处理上也尽可能做到为用户考虑。未来莱特莱德将会多方涉及微电子行业,为我国的微电子行业增加助力!

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